发明名称 KERAMISCHE GRÜNFOLIE
摘要
申请公布号 DE69329329(D1) 申请公布日期 2000.10.05
申请号 DE1993629329 申请日期 1993.06.25
申请人 TORAY INDUSTRIES, INC. 发明人 MASAKI, TAKAKI;KITAGAWA, TAKAO;YOSHIMURA, AKIKO;IWANAGA, KEIJI
分类号 C04B35/195;C04B35/634;G03F7/004;H01L23/15;H01L23/498;H05K1/00;H05K1/03;H05K3/00;(IPC1-7):C04B35/00;C08K3/00 主分类号 C04B35/195
代理机构 代理人
主权项
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