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发明名称 NARROW BAND LASER WITH ETALON BASED OUTPUT COUPLER
摘要
申请公布号 EP1038340(A1) 申请公布日期 2000.09.27
申请号 EP19980960790 申请日期 1998.12.07
申请人 CYMER, INC. 发明人 ERSHOV, ALEXANDER I.
分类号 G03F7/20;H01S3/08;H01S3/081;H01S3/098;H01S3/105;H01S3/1055;H01S3/106;H01S3/13;H01S3/139;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/098;H01S3/10 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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