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发明名称 DURCH TOPOLOGIE HERVORGERUFENE ERHÖHUNG DER PLASMADICHTE ZUR VERBESSERTEN HOMOGENITÄT BEIM ÄTZEN
摘要
申请公布号 AT195462(T) 申请公布日期 2000.09.15
申请号 AT19950902578T 申请日期 1994.11.17
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 MUNDT, RANDALL, S.;KERR, DAVID, R.;LENZ, ERIC, HOWARD
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;(IPC1-7):B44C1/22;C23C14/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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