发明名称 Verfahren zur Ermittlung von Strukturmerkmalen an Prüfobjekten mit diffus streuender Oberfläche
摘要 Bei flächenhaft arbeitenden, optischen Verfahren zur Bauteilprüfung werden interferometrische oder mit strukturiertem Licht arbeitende Verfahren verwendet, die die Verformung des Objektes mittels Bildverarbeitung berechnen und das Ergebnis als Phasendifferenzbild darstellen. Den strukturabhängigen lokalen Verformungen des Objektes sind dabei häufig Ganzkörperbewegungen oder sonstige nicht relevante globale Objektverformungen überlagert, die das Erkennen von lokalen Strukturmerkmalen, insbesondere Strukturdefekten, erschweren. DOLLAR A Bei dem neuen Bildverarbeitungsverfahren wird das Phasendifferenzbild so manipuliert, daß die lokalen Strukturmerkmale beseitigt sind. Dieses manipulierte Phasendifferenzbild wird vom ursprünglichen Phasendifferenzbild subtrahiert, so daß im Ergebnis ein Phasendifferenzbild entsteht, welches nur noch die lokalen Verformungen aufweist. DOLLAR A In dem resultierenden Phasendifferenzbild ist es nun sehr viel leichter möglich, Strukturmerkmale, insbesondere Strukturdefekte, zu erkennen, da die störende Überlagerung von globalen Verformungen beseitigt ist.
申请公布号 DE19906681(A1) 申请公布日期 2000.09.14
申请号 DE19991006681 申请日期 1999.02.18
申请人 MAEHNER, BERNWARD 发明人 MAEHNER, BERNWARD
分类号 G01B11/16;G01M17/02;(IPC1-7):G01B11/16;G01B11/24;G01M11/08;G01N21/45 主分类号 G01B11/16
代理机构 代理人
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