| 摘要 |
<p>Cette machine à vide comporte une pluralité de vases à vide pourvus d'un orifice d'entrée de gaz et d'un orifice de sortie de gaz. Un système d'introduction de gaz sert à introduire dans les vases à vide un gaz souhaité provenant de l'orifice d'entrée de gaz. Un système d'extraction de gaz entretient un vide partiel dans les vases à vide. En l'occurrence, le système d'extraction des gaz comprend en outre une pluralité de pompes à vide montées en série en plusieurs étages. La pression de l'orifice de sortie de la pompe à vide du dernier étage est généralement la pression atmosphérique. Enfin, une pompe à vide de dernier étage est configurée de façon à extraire le gaz provenant d'une pluralité de pompes à vide d'un étage inférieur.</p> |
