联机设备系统及其控制方法

摘要

一种联机设备系统,包括:多个联机设备,分别按顺序对基板进行预定作业;主机,储存应在设备中进行作业的基板的信息及作业信息;多个设备控制器,根据基板信息及作业信息分别控制基板的作业,并通过相互通信连接而共有基板的信息主控制器,与多个设备控制器连接,控制多个设备控制器并把在设备中完成的作业信息传送给主机,把基板信息及作业信息传送给相应设备控制器。该联机设备系统方便地控制联机设备,提高联机设备可靠性。

主权项

1.一种联机设备系统，其包括：分别对基板按顺序进行预定作业的多数个联机设备；储存有应在上述设备中进行作业的基板的信息以及在设备中进行作业的信息的主机；分别控制根据上述基板信息以及作业信息在上述多数个设备中的作业，并且相互间通过通信方式联系而共有有关上述基板信息的多数个设备控制器；及与上述多数个设备控制器连接，并控制上述多数个设备控制器，从上述设备控制器接收在上述设备中完成的作业信息，并传送给主机，从上述主机接收基板信息以及作业信息并传送给相应设备控制器的主控制器。