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发明名称
DOWNSTREAM AMMONIA PLASMA PASSIVATION OF GAAS
摘要
申请公布号
KR100262022(B1)
申请公布日期
2000.08.01
申请号
KR19930010880
申请日期
1993.06.15
申请人
AT&T CORP.
发明人
AYDIL, ERAY S.;GIAPIS, KONSTANTINOS P.;GOTTSCHO, RCHARD A.
分类号
H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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