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发明名称
摘要
申请公布号
JP3072078(B2)
申请公布日期
2000.07.31
申请号
JP19980192880
申请日期
1998.07.08
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32;H01R33/76;H01R33/97;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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