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发明名称 VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG SCHEIBENFÖRMIGER HALBLEITER- UND SILIZIUMSUBSTRATE
摘要
申请公布号 ATA46997(A) 申请公布日期 2000.07.15
申请号 AT19970000469 申请日期 1997.03.18
申请人 THALLNER ERICH DIPL.ING. 发明人
分类号 B25B11/00;C23C14/50;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25B11/00
代理机构 代理人
主权项
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