| 发明名称 |
Belichtingsinrichting met detector voor gereflecteerd licht, en belichtingswerkwijze die daarvan gebruikmaakt. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1013287(C2) |
申请公布日期 |
2000.07.11 |
| 申请号 |
NL19991013287 |
申请日期 |
1999.10.14 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
TEAK-SOO SON;TAE-SIN PARK |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/11;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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