稀土化合物浆料及金刚石厚膜的表面刻蚀方法

摘要

本发明属金刚石厚膜的表面刻蚀方法。采用稀土化合物浆料,如以氧化铈和硝酸镧为原料的浆料,印刷于金刚石厚膜生长面,再经400～600℃烧结2～5小时,最后用浓硫酸清洗。浆料是将原料与溶剂混合研磨再加调和剂配制而成。本发明原料便宜用量少,可刻蚀工艺简单,不需要真空高温的苛刻条件和复杂设备,成本降低;刻蚀效果好,能减小机械抛光时间;浆料丝网印刷可图形化。这些都利于金刚石厚膜在电子封装领域中的应用。

主权项

1.一种用于金刚石厚膜表面刻蚀的稀土化合物浆料，其特征在于，其成分包括铈和镧的氧化物或盐为原料、铈、镧的化合物的质量比为1∶(1-0.3)，松油醇、柠檬酸和乙基纤维素或它们的混合物为调和剂混合而成。