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发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING FURNACE HEATING SUBASSEMBLY
摘要
申请公布号 EP1015831(A1) 申请公布日期 2000.07.05
申请号 EP19980908974 申请日期 1998.03.05
申请人 SEMITOOL, INC.;WEAVER, ROBERT A.;PECK, KEVIN B.;MCENTIRE, WILLIAM D.;MRL INDUSTRIES, INC. 发明人 WEAVER, ROBERT, A.;PECK, KEVIN, B.;MCENTIRE, WILLIAM, D.
分类号 F27D11/02;C30B31/12;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):F27D3/12 主分类号 F27D11/02
代理机构 代理人
主权项
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