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发明名称 Electron beam apparatus
摘要
申请公布号 EP0810629(B1) 申请公布日期 2000.06.28
申请号 EP19970112851 申请日期 1992.11.25
申请人 HITACHI, LTD.;HITACHI SCIENCE SYSTEMS, LTD. 发明人 OTAKA, TADASHI;OKURA, AKIMITSU;IWAMOTO, HIROSHI;TODOKORO, HIDEO;KOMODA, TSUTOMU;TOBITA, ISSEI
分类号 H01J37/28;G01Q30/02;(IPC1-7):H01J37/28;H01J37/02 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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