发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100259665(B1) 申请公布日期 2000.06.15
申请号 KR19950014662 申请日期 1995.06.02
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY K.K. 发明人 OHTANI, HISASHI;HUCUNAGA, TAKESHI;NIYANAGA, AKIHARU
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/320 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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