利用磁场的微波增强型CVD系统和方法

摘要

本发明展示一种改进的化学气相淀积法；在这种方法中，回旋共振与光或等离子体化学气相淀积法相配合，以高的淀积速度淀积具有高性能的薄膜。高淀积速度归因于回旋共振，而高质量性能归因于两种化学气相淀积法（ＣＶＤｓ）的组合。

主权项

1.一种等离子体处理装置，其特征在于包括：一反应室；一气体引进装置，将一处理气体引进该反应室；一微波发射装置，将微波射入该反应室；一磁场施感装置，在反应室中施感磁场而形成电子回旋共振，以便将所说处理气体转变为等离子体；一衬底，具有一待处理的表面，且被放置在反应室中；以及抽气装置，将所说反应室抽空，所说抽气装置包含一个插置在反应室和一真空泵之间的涡轮分子泵。