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发明名称 FILM GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 KR100257302(B1) 申请公布日期 2000.05.15
申请号 KR19940005495 申请日期 1994.03.18
申请人 TOKYO ELETRON TOHOKU LTD.;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 IMAIMA, SAYUKI;NISHIMURA, DISHIHARU
分类号 H01L21/31;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/20 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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