发明名称 Semiconductor devices with low dislocation defects and method for making same
摘要
申请公布号 EP0469790(B1) 申请公布日期 2000.05.03
申请号 EP19910306809 申请日期 1991.07.25
申请人 AT&T CORP. 发明人 FITZGERALD, EUGENE ARTHUR
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/338;H01L27/146;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20;H01L29/06;H01L29/267 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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