| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR GROWING THIN FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100255430(B1) |
申请公布日期 |
2000.05.01 |
| 申请号 |
KR19967004091 |
申请日期 |
1996.07.29 |
| 申请人 |
MIKROKEMIA OY |
发明人 |
TUOMO, SUNTOLA;SVEN, LINDFORS |
| 分类号 |
C30B25/02;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;C30B25/10;C30B25/14;C30B29/46;C30B35/00;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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