发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MULTI-TARGET PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0993511(A1) 申请公布日期 2000.04.19
申请号 EP19990921473 申请日期 1999.04.26
申请人 CVC PRODUCTS, INC. 发明人 MOSLEHI, MEHRDAD, M.;DAVIS, CECIL, J.;MANN, CHRISTOPHER, J.;JAKUBIK, DWAIN, R.;PARANJPE, AJIT, P.
分类号 C23C14/34;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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