发明名称 PROCESS FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE
摘要
申请公布号 KR100252331(B1) 申请公布日期 2000.04.15
申请号 KR19947004840 申请日期 1994.12.30
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 AUER, STEFAN;KOHLHASE, ARMIN;MELZNER, HANNO
分类号 H01L27/04;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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