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发明名称
PROCESS FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE
摘要
申请公布号
KR100252331(B1)
申请公布日期
2000.04.15
申请号
KR19947004840
申请日期
1994.12.30
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
AUER, STEFAN;KOHLHASE, ARMIN;MELZNER, HANNO
分类号
H01L27/04;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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