批量生产CVD金刚石片的灯丝工装

摘要

一种适合热丝CVD法批量生产金刚石片的灯丝工装,它是在已有架设灯丝的电极上增加了可在电极上移动的滑块,其位移可抵消灯丝热膨胀所产生的伸长量,使灯丝始终保持直线状态,工作参数稳定;停电时,灯丝收缩使滑块向回运动,灯丝不断裂。同时还增加了支架、灯丝定位板和电极定位板,可用它们将灯丝做成“灯丝总成”,然后再移到系统中的电极上。用该工装装配灯丝,省时,重复性好,并可保证工艺的稳定性。

主权项

1、一种热丝CVD法生产金刚石膜的灯丝工装，在真空系统中架设数根灯丝，其特征是：在支架上用定位板联结两组电极组件，其中一块是带有滑块的活动电极组件，用灯丝定位板限位将灯丝固定在两电极上，构成“灯丝总成”，然后移植到真空系统的电极上。