| 发明名称 |
Method and apparatus for supplying gaseous raw material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0669287(B1) |
申请公布日期 |
2000.04.12 |
| 申请号 |
EP19950102843 |
申请日期 |
1995.02.28 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG;SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. |
发明人 |
YOKOKAWA, KIYOSHI |
| 分类号 |
F17D1/04;B01J4/00;B01J7/00;C03B8/04;C03B37/014;C03B37/018;C23C16/44;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C03B1/00 |
主分类号 |
F17D1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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