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发明名称 CAMERA DI REAZIONE AD ELEVATE PRESTAZIONI PER PROCESSI DI DEPOSIZIONECHIMICA DA FASE VAPORE DI SEMICONDUTTORI.
摘要
申请公布号 ITBA980038(A1) 申请公布日期 2000.04.03
申请号 IT1998BA00038 申请日期 1998.10.01
申请人 LOVERGINE NICOLA;MUCCIATO RAFFAELE 发明人 LOVERGINE NICOLA;MUCCIATO RAFFAELE
分类号 C23C;H01L 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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