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发明名称 METHOD FOR FORMING INSULATION LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100246808(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19930018759 申请日期 1993.09.17
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, CHUN HOAN;AN, GI CHOL
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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