发明名称 METHOD OF PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100249256(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19970007245 申请日期 1997.03.05
申请人 NEC CORPORATION 发明人 TAKAOKA HAJIME
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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