| 发明名称 |
METHOD OF ANALYZING FAILURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE BY USING EMISSION ELECTRON MICROSCOPE AND SYSTEM FOR ANALYZING FAILURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100249630(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.15 |
| 申请号 |
KR19960061537 |
申请日期 |
1996.12.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KOYAMA TORU |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/311;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
