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发明名称 OPTICAL SCANNING SYSTEM FOR SURFACE INSPECTION
摘要
申请公布号 EP0979398(A4) 申请公布日期 2000.02.16
申请号 EP19970929786 申请日期 1997.06.03
申请人 TENCOR INSTRUMENTS 发明人 LESLIE, BRIAN, C.;NIKOONAHAD, MEHRDAD;WELLS, KEITH, B.
分类号 G01N21/956;G01N21/94;(IPC1-7):G01N21/00;G01N21/88 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
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