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发明名称 TEMPERATURE CONTROLLING METHOD AND APPARATUS FOR RAPID THERMAL PROCESS
摘要
申请公布号 KR100241293(B1) 申请公布日期 2000.02.01
申请号 KR19940013531 申请日期 1994.06.15
申请人 TOKYO ELETRON TOHOKU LTD.;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 NISI, GASOH;DERADA, GATSUO;O-OKASE, WATARU;YAMAGA, GENICHI
分类号 C23C16/46;C30B25/10;C30B31/12;G05D23/19 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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