| 发明名称 |
THIN FILM FABRICATION METHOD AND INSTRUMENT FOR LCD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100236990(B1) |
申请公布日期 |
2000.01.15 |
| 申请号 |
KR19960026806 |
申请日期 |
1996.07.03 |
| 申请人 |
ANELVA CORPORATION |
发明人 |
LEEWATA, HIROSHI;YOSIOHKA, GASUYA |
| 分类号 |
G02B5/20;C23C14/00;C23C14/02;C23C14/56;G02F1/13;G02F1/1335;(IPC1-7):G02F1/133 |
主分类号 |
G02B5/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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