| 发明名称 |
THE BY-PRODUCT SEPARATOR OF EXHAUST GASES FOR THE SEMICONDUCTOR PRODUCTION PROCESS AND GAS REMOVAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100239791(B1) |
申请公布日期 |
2000.01.15 |
| 申请号 |
KR19970064663 |
申请日期 |
1997.11.29 |
| 申请人 |
MODERN INDUSTRIES CO., LTD.;KIM, SUK-TAE |
发明人 |
KIM, SUK-TAE |
| 分类号 |
B01D53/02;B01D53/34;(IPC1-7):B01D53/34 |
主分类号 |
B01D53/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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