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发明名称 A NEW NON-THERMAL PROCESS FOR ANNEALING CRYSTALLINE MATERIALS
摘要
申请公布号 EP0958595(A4) 申请公布日期 2000.01.05
申请号 EP19970932303 申请日期 1997.06.26
申请人 THE GOVERNMENT OF THE UNITED STATES OF AMERICA, AS REPRESENTED BY THE SECRETARY OF THE NAVY 发明人 MANKA, CHARLES, KEITH;GRUN, JACOB;COVINGTON, BILLY, CHARLES;DONNELLY, DAVID, WILLIAM
分类号 H01L21/30;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/268;C30B31/20 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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