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发明名称 LSI semiconductor device
摘要
申请公布号 EP0339637(B1) 申请公布日期 2000.01.05
申请号 EP19890107639 申请日期 1989.04.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MAEDA, TAKEO
分类号 H01L21/74;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092;H01L27/115;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/82 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
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