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发明名称 SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR MAKING METHOD
摘要
申请公布号 KR100234221(B1) 申请公布日期 1999.12.15
申请号 KR19960058346 申请日期 1996.11.27
申请人 MANDO MACHINERY CORP. 发明人 PAEK, SEUNG-HO
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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