| 发明名称 | 集成干涉仪 | ||
| 摘要 | 一种集成在硅－绝缘体芯片(它包括通过绝缘材料层(3)与基质(2)分开的硅层(1))上的干涉仪，该光学芯片具有集成在上面的光纤连接装置(13)，用于把光学芯片连接到一个或多个光纤(6)上，该光纤连接装置(13)包括形成在基质(2)上的沟槽(5)，用于放置光纤(6)；波导装置(4)，用于向光纤连接装置(13)或从光纤连接装置(13)传输光，波导装置(4)包括一个或多个形成在所述硅层(1)内的肋状波导(9)；和至少一个相位调制器(14)，用于改变沿着芯片上的肋状波导(9)传输的光的相位，该结构是这样的，即形成干涉仪，其中沿着不同光路传播的光可以组合，而且至少一个光路的有效光路长度可以通过相位调制器(14)改变。 | ||
| 申请公布号 | CN1238041A | 申请公布日期 | 1999.12.08 |
| 申请号 | CN97199801.9 | 申请日期 | 1997.11.14 |
| 申请人 | 布克哈姆技术有限公司 | 发明人 | R·－D·佩赫斯特德特;J·S·麦肯兹;Y·C·卢 |
| 分类号 | G01B9/02;G01D5/26 | 主分类号 | G01B9/02 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王勇;王忠忠 |
| 主权项 | 1．一种集成在光学芯片上的干涉仪，该光学芯片包括通过绝缘材料层与基质分开的硅层，光学芯片具有：用于把光学芯片连接到一个或多个光纤上的光纤连接装置，该光纤连接装置包括形成在基质上的沟槽，用于放置光纤；波导装置，用于向光纤连接装置或从光纤连接装置传输光，波导装置包括一个或多个形成在所述硅层内的肋状波导；和至少一个相位调制器，用于改变沿着芯片上的肋状波导传输的光的相位，该结构是这样的，即形成干涉仪，其中沿着不同光路传播的光可以组合，而且至少一个光路的有效光路长度可以通过相位调制器改变。 | ||
| 地址 | 英国牛津郡 | ||