发明名称 MULTI-STAGE SLIDE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11333779(A) 申请公布日期 1999.12.07
申请号 JP19980145593 申请日期 1998.05.27
申请人 KOYO SEIKO CO LTD 发明人 TSURU KAZUO;OKUDA KOICHI
分类号 B25J18/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B25J18/02 主分类号 B25J18/02
代理机构 代理人
主权项
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