发明名称 THIN FILM PRODUCING DEVICE AND MAGNETIC RECORDING MEDIUM
摘要
申请公布号 JPH11335853(A) 申请公布日期 1999.12.07
申请号 JP19980147101 申请日期 1998.05.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORITA TAKESHI;NISHIZAWA YASUHIRO
分类号 C23C16/26;C23C16/50;G11B5/72;G11B5/85;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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