发明名称 METHOD AND DEVICE FOR CARRYING OUT WORKING STEPS ON MINIATURISED MODULES
摘要 Um ein Verfahren zum Durchführen von Arbeitsschritten an miniaturisierten Baugruppen, die von einem mit einer Halteeinrichtung versehenen Baugruppenträger gehalten sind, in mindestens einer Arbeitsstation zu schaffen, welches die Durchführung einer Vielzahl von Bearbeitungsschritten an einer Baugruppe erlaubt, wird vorgeschlagen, dass die Baugruppe mit einem der Baugruppenträger zur Durchführung der Arbeitsschritte zu mehreren Arbeitsstationen gebracht wird und durch Relativbewegung zwischen dem Baugruppenträger und der jeweils einen der mehreren Arbeitsstationen zum Durchführen eines der Arbeitsschritte exakt positioniert wird und dass für die Durchführung der Arbeitsschritte die Positionierung der Baugruppe gegenüber dem Baugruppenträger aufrechterhalten wird.
申请公布号 WO9961200(A1) 申请公布日期 1999.12.02
申请号 WO1999EP03465 申请日期 1999.05.20
申请人 DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT- UND RAUMFAHRT E.V.;MENSCHIG, ARND 发明人 MENSCHIG, ARND
分类号 B23Q7/14;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B23Q7/14;H01L21/00 主分类号 B23Q7/14
代理机构 代理人
主权项
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