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发明名称 Sonde für die optische Nahfeldmikroskopie
摘要
申请公布号 DE4329985(C2) 申请公布日期 1999.12.02
申请号 DE19934329985 申请日期 1993.09.04
申请人 DANZEBRINK, HANS-ULRICH;FISCHER, ULRICH 发明人 DANZEBRINK, HANS-ULRICH;FISCHER, ULRICH
分类号 G01Q60/18;G02B21/00;G03F7/20;(IPC1-7):G02B21/00;G01N23/225;G02B6/02;H01L31/021 主分类号 G01Q60/18
代理机构 代理人
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