| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENTS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11330114(A) |
申请公布日期 |
1999.11.30 |
| 申请号 |
JP19980128908 |
申请日期 |
1998.05.12 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
FURUYUI YASUTAKA;IMAMURA YUJI;NAKAMAE TAKASHI;YAMAMOTO TAKATSUGU |
| 分类号 |
G01B11/06;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
