发明名称 MANUFACTURE OF MULTIPLE MIXED CRYSTAL AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11330099(A) 申请公布日期 1999.11.30
申请号 JP19980130557 申请日期 1998.05.13
申请人 NEC CORP 发明人 IWATA HIROSHI
分类号 C23C14/06;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/365 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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