| 摘要 |
Un conjunto de M x N espejos accionados de película delgada y método para la fabricación del mismo, donde el conjunto incluye una matriz activa y unconjunto de M x N estructuras accionadoras. Cada una de las estructuras accionadoras incluyeun primer electrodo de película delgada, un miembroelectromovible de película delgada, un segundo electrodo de película delgada, un miembro elástico, un conducto y un miembro elástico. En el conjunto, elmiembro aislante está hecho de un material aislante, por ejemplo óxido o nitruro, y está formado entre la parte superior del conducto y el fondo delprimer electrodo de película delgada, de manera de reducir la posibilidad de un contacto eléctrico formado entre el primer y el segundoelectrodos depelícula delgada. |
