发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11307650(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980149936 申请日期 1998.05.29
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC 发明人 KITAMURA KENJI;SHIIKI MIKA;OSANAI JUN
分类号 H01L21/8234;H01L27/00;H01L27/088;H03F3/45;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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