| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11307629(A) |
申请公布日期 |
1999.11.05 |
| 申请号 |
JP19980106606 |
申请日期 |
1998.04.16 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TAKASE TAMAO;SETA SHIYOUJI;KAJITA AKIHIRO;AZUMA KAZUYUKI;MATSUNAGA NORIAKI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
