发明名称 METHOD AND PLATE FOR DETECTING LIGHT BEAM RADIATION POSITION AND FOREIGN MATTER DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11304420(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980110721 申请日期 1998.04.21
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 KUETANI TETSUYA
分类号 G01B11/00;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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