| 发明名称 |
ARRANGEMENT FOR GENERATING A PLASMA BY MEANS OF CATHODE SPUTTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100228534(B1) |
申请公布日期 |
1999.11.01 |
| 申请号 |
KR19930021324 |
申请日期 |
1993.10.14 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
RUDOLF, LATZ |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/24 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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