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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING IT
摘要
申请公布号 JPH11297934(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980099743 申请日期 1998.04.10
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIDA HIROSHI
分类号 H01L21/822;H01L21/02;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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