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发明名称
摘要
申请公布号 EP0951051(A3) 申请公布日期 1999.10.27
申请号 EP19990113561 申请日期 1996.07.26
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人
分类号 H01L21/677;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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