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经营范围
发明名称
CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11293465(A)
申请公布日期
1999.10.26
申请号
JP19980104325
申请日期
1998.04.15
申请人
EBARA CORP
发明人
SHIBAZAKI MITSUNAO;NAKADA TSUTOMU;SHINOZAKI HIROYUKI;HORIE KUNIAKI
分类号
C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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