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发明名称
摘要
申请公布号 JP2966419(B2) 申请公布日期 1999.10.25
申请号 JP19880228682 申请日期 1988.09.14
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KAWASUMI KENICHI;INADA AKIO;TAKANASHI AKIHIRO;FUJITO TOSHIAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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