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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0610656(B2)
申请公布日期
1994.02.09
申请号
JP19860043368
申请日期
1986.02.27
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
NAKAI YASUHIDE;NISHIMOTO YOSHIRO;YONEDA YASUSHI;TAKAMATSU HIROYUKI;MIKI HIDEJI
分类号
G01N21/88;G01B11/30;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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